| 发明名称 |
IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO ELECTRO-OPTICAL MEASUREMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0507566(A3) |
申请公布日期 |
1993.04.21 |
| 申请号 |
EP19920302864 |
申请日期 |
1992.04.01 |
| 申请人 |
TESA METROLOGY LIMITED |
发明人 |
ALDRED, PHILIP JAMES ERIC |
| 分类号 |
G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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