用隧道效应原理测量微位移的方法

摘要

本发明公开了一种利用隧道效应原理，测量物体的微位移或微形变的方法。其特征是测量系统由被测样品、测量针尖、压电陶瓷、电压表、偏压电源、放大器等组成负反馈闭环测量系统。分辨率可达0.1—1nm。

主权项

1、一种对物体进行微位移的测量方法，其特征是，根据隧道效应原理组成一个负反馈闭环测量系统，调整电路中的测量针尖与样品电极靠得很近(nm级)，使电路进入隧道状态，记录电路中电压指示数，求出电压差值ΔV，经过公式换算，即可得到被测样品的微位移量值。