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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0593277(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910253776 申请日期 1991.10.01
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 DOI AKIRA;KUWABARA SO;NAKAHIGASHI TAKAHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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