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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0594987(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910254031 申请日期 1991.10.02
申请人 NEC CORP 发明人 KUNIMASA KAZUO
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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