发明名称 FILM-THICKNESS MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0593618(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910282197 申请日期 1991.10.01
申请人 TOYAMA PREF GOV;KIMURA YOSHIJI 发明人 SUGIMORI HIROSHI;KIMURA YOSHIJI;SATO HISAYOSHI;OHORI MASATAKA
分类号 G01B15/02 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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