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发明名称 III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0595007(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910253268 申请日期 1991.10.01
申请人 NEC CORP 发明人 KONO MICHIHISA
分类号 H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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