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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0594970(A)
申请公布日期
1993.04.16
申请号
JP19910253918
申请日期
1991.10.01
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
HAYASHI HISATAKA;OKANO HARUO
分类号
C23C16/04;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205
主分类号
C23C16/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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