发明名称 THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0594970(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910253918 申请日期 1991.10.01
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HAYASHI HISATAKA;OKANO HARUO
分类号 C23C16/04;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
地址