| 发明名称 |
PROCEDE POUR NETTOYER LA SURFACE D'UN SUBSTRAT PAR PLASMA. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2670693(B1) |
申请公布日期 |
1993.04.16 |
| 申请号 |
FR19900016385 |
申请日期 |
1990.12.20 |
| 申请人 |
DUTARTRE DIDIER;BENSAHEL DANIEL;REGOLINI JORGE |
发明人 |
DUTARTRE DIDIER;BENSAHEL DANIEL;REGOLINI JORGE L. |
| 分类号 |
B08B7/00;C23C14/02;C23F4/00;C23G5/00;H01L21/306;(IPC1-7):B08B7/00;B08B11/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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