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发明名称 FLUID MEASURING METER
摘要
申请公布号 JPH0593641(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910255016 申请日期 1991.10.02
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 SHIMIZU MASARU
分类号 G01F1/00;G01F15/02;G01F15/06;G01K11/12 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
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