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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0514302(Y2)	申请公布日期	1993.04.16
申请号	JP19880021297U	申请日期	1988.02.19
申请人		发明人
分类号	G06F3/147;G02F1/133;G02F1/1335;G02F1/13357;G06F3/14;G09F9/00;H01L33/48;H05B6/12	主分类号	G06F3/147
代理机构		代理人
主权项
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