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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0593266(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910251162 申请日期 1991.09.30
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 IKUBO NARUHIRO;KOGA KAZUHIRO
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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