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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0595117(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910253276 申请日期 1991.10.01
申请人 NEC CORP 发明人 SERA KENJI
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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