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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0529141(U)
申请公布日期
1993.04.16
申请号
JP19910076162U
申请日期
1991.09.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/673;H01L21/50;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/50
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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