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发明名称 FORMING METHOD OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH0594989(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910280790 申请日期 1991.10.01
申请人 YAMAHA CORP 发明人 NAKAMURA TORU
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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