| 发明名称 |
PROCEDE DE GRAVURE D'UNE COUCHE D'OXYDE DE SILICIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2620737(B1) |
申请公布日期 |
1993.04.16 |
| 申请号 |
FR19870013093 |
申请日期 |
1987.09.17 |
| 申请人 |
ETAT FRANCAIS CNET |
发明人 |
DIDIER DUTARTRE;JORGE LUIS REGOLINI;DANIEL BENSAHEL |
| 分类号 |
H01L21/311;(IPC1-7):C23F1/02;C22F1/02;C22F3/00;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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