ADHERENT METAL COATING FOR ALUMINUM NITRIDE SURFACES

摘要

L'invention concerne un procédé de métallisation d'un substrat par dépôt sous vide d'une fine couche de chrome. Le substrat est d'abord nettoyé (16) en l'exposant à une décharge de plasma gazeux. Une fine couche de métal de chrome est ensuite pulvérisée sous vide (17) sur le substrat. Le substrat est ensuite chauffé dans une atmosphère (18) contenant de l'oxygène pendant une période de temps et à une température suffisantes pour convertir le métal de chrome en oxyde de chrome. Une seconde couche de métal de chrome est ensuite pulvérisée (20) sur la couche d'oxyde de chrome afin de former un système métallique adhérant sur le substrat.