发明名称 POSITIV-ARBEITENDES LICHTEMPFINDLICHES GEMISCH UND DARAUS HERGESTELLTES LICHTEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL.
摘要
申请公布号 DE3784549(D1) 申请公布日期 1993.04.15
申请号 DE19873784549 申请日期 1987.04.30
申请人 HOECHST CELANESE CORP., SOMERVILLE, N.J., US 发明人 POTVIN, ROBERT E., WEST WARWICK RHODE ISLAND 02893, US;ST. ALBAN, JONAS O.;SOBODACHA, CHESTER J., COVENTRY RHODE ISLAND 02816, US
分类号 G03C1/72;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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