发明名称 OXID-ENTFERNUNG VON METALLISCHEN KONTAKTLOECHERN AUF HALBLEITERANORDNUNGEN ZUM VERBESSERN VON HYBRID-KALTSCHWEISSEN.
摘要
申请公布号 DE3879176(D1) 申请公布日期 1993.04.15
申请号 DE19883879176 申请日期 1988.08.19
申请人 SANTA BARBARA RES CENTER 发明人 SCHULTE F;OLSON D
分类号 H01L21/60;H01L21/98;H01L23/48;H01L23/485;H01L25/04;(IPC1-7):H01L21/98 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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