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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER ELEKTRODE AUF DIAMANT FUER ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DE4234101(A1) 申请公布日期 1993.04.15
申请号 DE19924234101 申请日期 1992.10.09
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL LTD.), KOBE, JP 发明人 NISHIMURA, KOZO;KOBASHI, KOJI;MIYAUCHI, SHIGEAKI;KATO, RIE;KOYAMA, HISASHI;SAITO, KIMITSUGU, KOBE, HYOGO, JP
分类号 H01L21/28;H01L21/04;H01L23/14;H01L23/373 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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