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发明名称 OPTO-LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG MIT EINEM VERSTELLBAREN LINSENSYSTEM UND KONTROLLVERFAHREN FUER DIE ABBILDUNGSEIGENSCHAFTEN EINES LINSENSYSTEMS IN EINER SOLCHEN VORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 AT87750(T) 申请公布日期 1993.04.15
申请号 AT19870201100T 申请日期 1987.06.11
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 BOUWER, ADRIANUS;VAN DE LOOY, GUIDO
分类号 G03B41/00;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G03B41/00
代理机构 代理人
主权项
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