双频激光准直测量方法及其准直测量干涉仪

摘要

本发明提出一种新的双频激光准直测量方法，属于双频激光精密测量技术领域。其特点在于将双频激光束射入第一个双折射分光元件分成夹有一小角度的两束光，再经过第二个双折射分光元件变成平行光束，经反射体反射按原路返回，由光电接收器接收，做为测量信号，相位计将双频激光参考信号与测量信号进行比相，得到位移量。本发明有利于克服空气干扰的影响，不但能进行连续测量，也能进行断续测量，在实际工程的精密测量中有广泛的应用前景。

主权项

1、一种双频激光准直测量方法，包括双频激光器、分光镜、两组双折射分元件、反射体、光电接收器，信号检测单元所组成，其测量方法包括以下各步骤： 1)由所说的双频激光器发出含有两种频率，两种偏振方向的一束光； 2)该光束经所说的分光镜后分成两部分光，第一部光由第一光电接收器接收，成为参考信号； 3)第二部分光射入第一组双折射分光元件后，这束邻含有两种频率两种偏振方向的光分成夹有一小角度的两束光；再经过第二组双折射元件后变成两束平行的偏振光； 4)第三步骤中的两束光同时射向一反射体，并按原路返回，再经所说的两组双折射分光元件后，由第二个光电接收器接收；成为测量信号； 5)所说的信号检测单元由检偏器与相位计构成，所说的参考信号与测量信号经过检偏器，送入相位计进行相位比较，得到被测物的位移量。