发明名称 Three-dimensional silicon structure
摘要
申请公布号 GB2260282(A) 申请公布日期 1993.04.14
申请号 GB19920021282 申请日期 1992.10.09
申请人 * ROBERT BOSCH GMBH 发明人 UDO * JAUERNIG
分类号 B41J2/135;B05B1/00;B41J2/16;F02M61/16;H01L49/00 主分类号 B41J2/135
代理机构 代理人
主权项
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