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发明名称 SELECTIVE IMAGEWISE DEPOSITION OF THIN DIAMOND FILM ON A DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 GB2260342(A) 申请公布日期 1993.04.14
申请号 GB19920024174 申请日期 1992.11.18
申请人 * KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO 发明人 TAKAYOSHI * INOUE;HIROYUKI * TACHIBANA;AKIMITSU * NAKAUE;KAZUO * KUMAGAI;KOICHI * MIYATA;KOJI * KOBASHI
分类号 C23C16/04;C23C16/27;G03F7/00;H01L21/20;H01L21/314 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
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