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经营范围
发明名称
DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0590212(A)
申请公布日期
1993.04.09
申请号
JP19910251508
申请日期
1991.09.30
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
OKAZAKI KOJI;KOMINAMI SHINYA
分类号
G05B19/02;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
G05B19/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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