发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0590193(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910249698 申请日期 1991.09.27
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KUBOTA TETSUYA;IGARASHI MICHIHITO
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址