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发明名称 MANUFACTURE OF VERTICAL TYPE MOS FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0590594(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910276112 申请日期 1991.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 SAWADA MASAMI;SONE TSUTOMU
分类号 H01L29/78;H01L27/04;H01L29/866 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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