发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE DEPOT PAR VAPORISATION A L'INTERIEUR D'UN TUBE
摘要
申请公布号 FR2607830(B1) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 FR19860017146 申请日期 1986.12.08
申请人 LIMOGES UNIVERSITE 发明人 JEAN MACHET;ERIC BESSAUDOU;PIERRE SAULNIER
分类号 C23C14/04;C23C14/28;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/48;C23C16/34 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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