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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0590331(A)
申请公布日期
1993.04.09
申请号
JP19910277138
申请日期
1991.09.28
申请人
NEC CORP
发明人
SAWANO TOMONORI
分类号
H01L21/60;H01L21/321
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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