发明名称 METHOD OF GROWING CARBON-ADDED COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0590166(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910271907 申请日期 1991.09.25
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KODA HIROKI;WADA KAZUMI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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