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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SUBSTRATE FOR FORMING SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号
JPH0590116(A)
申请公布日期
1993.04.09
申请号
JP19910146952
申请日期
1991.05.22
申请人
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NAGANO DENSHI KOGYO KK
发明人
ITO TATSUO;UCHIYAMA ATSUO;FUKAMI MASAO
分类号
H01L21/02;H01L27/12
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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