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发明名称 ELECTRON BEAM APPLICATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0589815(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910247995 申请日期 1991.09.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO NORIO;YAMAZAKI MATSUO;YODA HARUO
分类号 H01J37/147;H01J37/20;H01J37/305 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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