发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0590189(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910248657 申请日期 1991.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIHARA YOSHITAKE
分类号 H01L21/266;H01L21/265;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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