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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0590297(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910278643 申请日期 1991.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOMITA KENICHI;KITAURA YOSHIAKI;UCHITOMI NAOTAKA
分类号 H01L29/812;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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