发明名称 WIRING STRUCTURE AND FORMING METHOD OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH0590258(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910251711 申请日期 1991.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NANPUKU MANABU;SUGURO KYOICHI;YOSHIMI MAKOTO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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