发明名称 |
WIRING STRUCTURE AND FORMING METHOD OF WIRING |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0590258(A) |
申请公布日期 |
1993.04.09 |
申请号 |
JP19910251711 |
申请日期 |
1991.09.30 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NANPUKU MANABU;SUGURO KYOICHI;YOSHIMI MAKOTO |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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