| 发明名称 |
SECONDARY ION MASS-SPECTROMETRIC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0589816(A) |
申请公布日期 |
1993.04.09 |
| 申请号 |
JP19910095520 |
申请日期 |
1991.04.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD |
发明人 |
IKEBE YOSHINORI;TAMURA HIFUMI;SUMIYA HIROYUKI;INAMURA AKIYOSHI |
| 分类号 |
H01J37/252;G01N23/225;G01Q30/02;G01Q60/44;H01J37/256;H01J49/14;H01J49/32 |
主分类号 |
H01J37/252 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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