发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE FORMING MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH0590421(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910277243 申请日期 1991.09.27
申请人 N M B SEMICONDUCTOR:KK 发明人 HASHIMOTO MASAYUKI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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