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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0590262(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910248668 申请日期 1991.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 MIZUSHIMA KAZUYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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