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发明名称 FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH0590347(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910280728 申请日期 1991.09.30
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 IMADA MASAFUMI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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