发明名称 VERFAHREN ZUR ELEKTRONENSTRAHLAUFZEICHNUNG UND SYSTEM IN VERBINDUNG MIT KONTINUIERLICH VERSCHIEBBAREM TISCH UNTER VERWENDUNG VON GROSS-BEREICHSABLENKUNG.
摘要
申请公布号 DE3878751(D1) 申请公布日期 1993.04.08
申请号 DE19883878751 申请日期 1988.05.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 DAVIS, DONALD EUGENE, POUGHKEEPSIE, N.Y. 12603, US;DORAN, SAMUEL KAY, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US;PERKINS, MERLYN HAROLD, NEW FAIRFIELD, CONN. 06810, US;PFEIFFER, HANS CHRISTIAN, RIDGEFIELD, CONN. 06877, US
分类号 G03F7/20;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/302;H01J37/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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