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发明名称 HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE3586822(T2) 申请公布日期 1993.04.08
申请号 DE19853586822T 申请日期 1985.12.06
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SATO, MASAKI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L29/762;H01L21/28;H01L21/339;H01L21/8247;H01L29/51;(IPC1-7):H01L29/60;H01L21/82 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
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