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发明名称 SEMICONDUCTOR ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 GB9303257(D0) 申请公布日期 1993.04.07
申请号 GB19930003257 申请日期 1993.02.18
申请人 NORTHERN TELECOM LIMITED 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L29/205;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/20;H01S5/22 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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