发明名称 |
A DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY DEVICE HAVING A SINGLE-CRYSTAL TRANSISTOR ON A TRENCH CAPACITOR STRUCTURE AND A FABRICATION METHOD THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0220410(B1) |
申请公布日期 |
1993.04.07 |
申请号 |
EP19860111645 |
申请日期 |
1986.08.22 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
LU, NICKY CHAU-CHUN |
分类号 |
H01L27/10;G11C11/34;H01L21/74;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/00;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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