发明名称 A DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY DEVICE HAVING A SINGLE-CRYSTAL TRANSISTOR ON A TRENCH CAPACITOR STRUCTURE AND A FABRICATION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0220410(B1) 申请公布日期 1993.04.07
申请号 EP19860111645 申请日期 1986.08.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LU, NICKY CHAU-CHUN
分类号 H01L27/10;G11C11/34;H01L21/74;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/00;H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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