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发明名称 A SHEET PLASMA SPUTTERING METHOD AND AN APPARATUS FOR CARRYING OUT THE METHOD
摘要
申请公布号 EP0357824(B1) 申请公布日期 1993.04.07
申请号 EP19880114691 申请日期 1988.09.08
申请人 URAMOTO, JOSHIN;ASAHI GLASS COMPANY LTD. 发明人 URAMOTO, JOSHIN;SUZUKI, KOICHI;OYAMA, TAKUJI;KOJIMA, HIROYASU
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/46;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H05H1/50 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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