发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF P AND N FILMS
摘要
申请公布号 RU1807531(C) 申请公布日期 1993.04.07
申请号 SU19914909135 申请日期 1991.02.07
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.A.F.IOFFE 发明人 RUD YURIJ V;MAGOMEDOV MURAD A;MEDVEDKIN GENNADIJ A
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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