发明名称 PROBE CARD ALIGNMENT
摘要
申请公布号 JPH0582603(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910267176 申请日期 1991.09.18
申请人 NEC CORP 发明人 ONOMA KAZUYA
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
地址