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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582771(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910238483 申请日期 1991.09.19
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO AKIHIKO
分类号 H01L29/205;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/737 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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