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发明名称 METHOD FOR OSCILLATING X-RAY MIRROR
摘要
申请公布号 JPH0582423(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910243777 申请日期 1991.09.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KITAMURA MASARU
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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