发明名称 MANUFACTURE OF EMBEDDED STRIPE SEMICONDUCTOR LASER FOR WHICH DRY ETCHING IS USED FOR FORMING STRIPE AND LASER OBTAINED BY METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0582915(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19920075284 申请日期 1992.02.26
申请人 CENTRE NATL ETUD TELECOMMUN <PTT> 发明人 NUURUDEIINU BUADAMA
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/227 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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