发明名称 |
MANUFACTURE OF EMBEDDED STRIPE SEMICONDUCTOR LASER FOR WHICH DRY ETCHING IS USED FOR FORMING STRIPE AND LASER OBTAINED BY METHOD THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0582915(A) |
申请公布日期 |
1993.04.02 |
申请号 |
JP19920075284 |
申请日期 |
1992.02.26 |
申请人 |
CENTRE NATL ETUD TELECOMMUN <PTT> |
发明人 |
NUURUDEIINU BUADAMA |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/227 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|