发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582792(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910243910 申请日期 1991.09.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YANAGIYA SATOSHI;MATSUDA NOBORU;OSAWA AKIHIKO;BABA YOSHIAKI;KAI SHUNICHI
分类号 H01L29/06;H01L29/78 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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