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发明名称 LEAFY DRY-ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582474(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910241976 申请日期 1991.09.20
申请人 ANELVA CORP 发明人 KODAIRA KICHIZO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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